Mit den Erfolgen bei der Entwicklung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) im Allgemeinen haben auch die Forschungsaktivitäten zu sogenannten Mikrorobotern zugenommen.
Damit sind mobile, navigierende Systeme mit geometrischen Abmessungen von maximal einigen wenigen Zentimetern oder auch wesentlich darunter gemeint (auch wenn Definitionen und Begrifflichkeiten hier international nicht einheitlich verwendet werden).
Grundsätzlich könnten Mikroroboter bedingt durch die miniaturisierte Geometrie und das minimale Gewicht gänzlich neue Anwendungsgebiete erschließen. Trotz bereits existierender Labormuster und Prototypen bedarf es bis zu ihrer Einsatzreife aber noch vieler technischer Verbesserungen.
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